簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="材料移除率"


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    氣液輔助化學機械拋光應用於單晶碳化矽基板之平坦化製程分析研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生： 張士宸   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)，具有高崩潰電壓(High Breakdown Voltage)及低的阻抗, 因此在高功率元件市場的潛力無窮，但單晶碳化矽基板也因高硬度及高…
    • 點閱：474  下載：17 

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    單晶碳化矽晶圓之鑽石線鋸加工模式分析研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 黃浩維   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽因材料特性上擁有多項優點，於功率元件市場中備受重視，然而其高硬度及耐化學性質造成基板製造之困難，本研究分別從磨料移除材料和線網運動觀點分析複線式鑽石線鋸加工製程(Multi-wire di…
    • 點閱：344  下載：26 

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    電致動力輔助化學機械拋光製程中 有效粒子之動能研究
    • 機械工程系 /110/ 博士
    • 研究生： Mai Phuoc Trai   指導教授： 陳炤彰 、 呂立鑫
    • 在半導體積體電路製程中，局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機，利用電雙層…
    • 點閱：346  下載：0 
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